（一）严格执行 “清污分流、雨污分流、分类收集、分质处理” 制度。项目研磨废水经沉砂池 ＋ 超滤系统处理后回用于纯水制备，不外排；酸碱废水、重金属废水先经 “中和调节 ＋ 混凝沉淀” 预处理设施处理，确保镍、银、铬等第一类污染物车间排口稳定达标，再与清洗废水、喷淋废水、初期雨水统一进入综合污水处理站，采用 “中和调节 ＋ 三级混凝沉淀” 工艺深度处理；锯片废水经沉砂池预处理；生活污水经化粪池预处理、食堂废水经隔油设施预处理后，与纯水制备浓水、循环冷却排水一并接入*政管网，项目生产废水接管可行性已经专家技术评审论证，经厂区预处理达标后接入不会影响六圩污水处理厂稳定运行及出水达标，近期送***六圩污水处理厂集中处置，远期管网完善后接入八里镇工业污水处理厂（二期）。废水接管执行《半导体行业污染物排放标准》（db**／****－****）表 * 水污染物排放限值，动植物油执行《污水综合排放标准》（gb****－****）表 * 三级标准，氟化物、镍、银、铬接管浓度执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》（db**／****－****）表 *、表 * 特征控制项目日均排放限值。厂区雨水、污水排口设置手自一体应急切断阀门，配套 ***m&sup*; 初期雨水池，依托现有事故应急池，事故废水全部截留不外排；按要求在雨污排口安装氟化物自动监控系统并与生态环境部门联网。 （二）按照 “应收尽收、密闭管控” 要求落实各工序废气收集治理。光刻、刻蚀、减薄有机废气及 to 炉天然气燃烧废气经三级干式过滤 ＋ 沸石转轮吸附 ＋ to 燃烧装置处理，由 **m 高 da*** 排气筒排放；酸洗、碱洗、漂洗、减薄、湿法腐蚀等酸碱废气分别经 * 套一级碱液喷淋塔处理，由 **m 高 da***、da***、da***、da*** 排气筒排放；危废库有机废气经二级活性炭吸附装置处理，由 **m 高da*** 排气筒排放；刻蚀、扩散、离子注入等特殊废气经设备自带燃烧装置处置后与酸碱废气配套一级碱喷淋塔处理，由 **m 高 da*** 排气筒排放；污水处理站废气经密闭负压收集 ＋ 碱喷淋塔处理，由 **m 高 da*** 排气筒排放。有组织废气非甲烷总烃、异丙醇、氯化氢、硫酸雾、氟化物、氮氧化物、氨、氯气、磷化氢、颗粒物、甲醛等执行《半导体行业污染物排放标准》（db**／****－****）表 *；酚类、to 炉燃烧废气执行《大气污染物综合排放标准》（db**／****－****）表 *；乙酸、磷酸雾参照执行***《大气污染物综合排放标准》（db**／***－****）对应限值。厂区内无组织 vocs 执行 db**／****－**** 表 *，厂界无组织执行 db**／****－**** 表 *、db**／****－**** 表 *。项目实施后全厂以*#生产车间、*#生产车间、测试车间、污水处理站和危废库边界设置***米的卫生防护距离，防护距离范围内不得规划**住宅、学校、医院等环境敏感目标。建立化学品泄漏检测修复台账，活性炭、喷淋药剂定期更换并留存运维记录，废活性炭、废滤材全部按危险废物管理。 （三）本项目光刻机、刻蚀机、风机、空压机、冷却塔等高噪声设备选用低噪声型号，风机配套消声器，高噪设备加装减振基座，厂房隔声降噪，合理布局高噪设备远离厂界；施工期噪声执行《建筑施工噪声排放标准》（gb*****－****），运营期厂界噪声稳定达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（gb*****－****）* 类标准。 （四）严格按照固废 “减量化、**化、无害化” 原则规范贮存处置。废金属屑、废包装材料、废碳滤料、废反渗透膜、废离子交换树脂等一般工业固体废物存放 ***㎡一般固废库，执行 gb*****－****，外售合规单位综合利用；生活垃圾由环卫统一清运。废酸液、废有机溶剂、废显影液、废光刻胶、废活性炭、含重金属污泥、废机油、废沸石转轮等危险废物密闭存放 ***㎡防渗危废库，落实围堰、防雨、防渗措施，满足 gb*****－**** 标准；含氟污泥按规范开展属性鉴定，鉴定前按危险废物管理。所有危废委托有资质单位处置，落实***危废全生命周期监管、电子转移联单制度，固废管理台账保存不少于五年。 （五）落实源头控制、分区防渗要求。生产车间、化学品库、污水处理站、危废库、事故池、初期雨水池划为重点防渗区，等效黏土 mb≥*.*m，k≤*×**??cm／s；一般固废库、**厂房划为一般防渗区，地面硬化配套导流收集设施；常态化巡检防渗层，防止土壤、地下水污染。 （六）健全环境风险三级防控体系，严格落实大气专项、风险专项各项管控要求。特气库、化学品库、危废库、污水站等区域按规范安装有毒有害、可燃气体报警装置，配齐应急防护物资、吸附材料；废气治理设施与生产线联锁停机，事故废水全部截留进入应急池。编制突发环境事件应急预案并备案，每年至少组织一次应急演练；规范硅烷、磷烷、氯气、氢氟酸等危险化学品分区限量存放，定期开展泄漏、火灾隐患排查，切实防范环境风险。 （七）按《***排污口设置及规范化整治管理办法》（苏环控〔****〕*** 号）规范 * 根工艺排气筒、厂区雨污排放口，配齐采样平台与环保标识；严格落实自行监测计划，定期监测各排气筒有组织废气、厂区及厂界无组织废气、厂界噪声、污水接管水质，竣工同步监测土壤、地下水，完整归档监测数据；项目投产前依法变更排污许可证，严禁无证、超总量排污。 |
